晶圓處理
博世(shi)力士樂 晶圓(yuan)(yuan)處理(li)和晶圓(yuan)(yuan)加工(gong)解決方案經過相應(ying)設計，能夠完美平(ping)衡高動(dong)態(tai)伺服驅動(dong)器、高剛性線性子系統和氣動(dong)執行器 – 具(ju)有高剛性，沒(mei)有超調量或間隙。這(zhe)可以(yi)減(jian)少(shao)整個前端操(cao)作的空閑時間和標(biao)準化處理(li)。此外(wai)，在運(yun)動(dong)控(kong)制(zhi)系統中(zhong)，通過預(yu)定義的算法來防止振(zhen)動(dong)。平(ping)滑的運(yun)動(dong)序列(lie)支持高階運(yun)動(dong)曲線和樣(yang)條函數。
晶圓載物臺
我(wo)們的(de)晶圓載物臺程序可(ke)實現(xian)納米(mi)范圍內的(de)高精(jing)度運(yun)動(dong)控(kong)制(zhi)。因此(ci)，它十分適用于質量控(kong)制(zhi)階段的(de)晶圓對齊、定位和測(ce)試。精(jing)密(mi)運(yun)動(dong)控(kong)制(zhi)系(xi)統 MPC 保證了 1 - 5 nm 分辨率(lv)的(de)高精(jing)度，以及(ji) ≥50 nm/s 的(de)緩慢(man)勻(yun)速(su)運(yun)動(dong)。專用伺服電機以及(ji)無(wu)鐵(tie)線(xian)性(xing)(xing)和扭矩馬達可(ke)提高動(dong)態性(xing)(xing)能。高精(jing)度線(xian)性(xing)(xing)導軌可(ke)消(xiao)除振(zhen)動(dong)。增加(jia)(jia)的(de)氣動(dong)子系(xi)統使(shi)自動(dong)化(hua)包(bao)更加(jia)(jia)完整。高階運(yun)動(dong)曲線(xian)和樣條函(han)數可(ke)產生(sheng)更平滑的(de)運(yun)動(dong)序列。
靈活運輸系統
力士樂(le)靈(ling)活運輸系(xi)(xi)(xi)統(tong) FTS 集成了一個外部(bu)(bu)非接觸式運動(dong)(dong)系(xi)(xi)(xi)統(tong)，經過簡化(hua)后能夠在最具挑戰性的(de)條件下運行。安裝(zhuang)在腔室外的(de)線圈為磁性載體(ti)提供(gong)動(dong)(dong)力，無需密封。外部(bu)(bu)安裝(zhuang)也增加了可用(yong)(yong)性。這種線性傳動(dong)(dong)技術幾乎適(shi)用(yong)(yong)于所有負載因素、精(jing)度水(shui)平和(he)運動(dong)(dong)曲線。該系(xi)(xi)(xi)統(tong)具有超常(chang)的(de)靈(ling)活性，可以使單個載體(ti)以不同(tong)的(de)速度前(qian)進和(he)后退。
起重機架
對于平板顯(xian)示器和太(tai)陽能模塊，博(bo)世力士樂 起(qi)重機(ji)架系(xi)(xi)統(tong)提(ti)供高(gao)(gao)精(jing)(jing)度無(wu)扭(niu)轉定(ding)(ding)位。在(zai)這一(yi)系(xi)(xi)列的(de)起(qi)重機(ji)架自動(dong)化系(xi)(xi)統(tong)中包括各種(zhong)尺(chi)寸(cun)和額定(ding)(ding)負(fu)載的(de)組件。運動(dong)控制(zhi)系(xi)(xi)統(tong)提(ti)供兩(liang)個軸的(de)高(gao)(gao)動(dong)態、高(gao)(gao)精(jing)(jing)度協調，每個軸都有自己的(de)控制(zhi)回路，沒有任何(he)機(ji)械連接。通過基于 Sercos 的(de)實時同步(bu)，可保證最(zui)大的(de)輪廓(kuo)精(jing)(jing)度。
注冊信息
伺服電(dian)(dian)機驅動(dong)可(ke)提(ti)高精度(du)、速(su)度(du)和(he)機器(qi)(qi)輸出，并(bing)具備(bei)無縫格式變化(hua)。高動(dong)態伺服驅動(dong)器(qi)(qi)和(he)緊湊(cou)的(de)(de)線性傳動(dong)技術可(ke)最大(da)限度(du)地減少格式變化(hua)期間的(de)(de)進給時間。無縫的(de)(de)電(dian)(dian)子傳輸和(he)登(deng)記(ji)控制(zhi)使格式更(geng)改沒有延(yan)遲。
多區域紙幅張力
支持多(duo)個(ge)紙幅(fu)張力控制區(qu)(qu)域，使生(sheng)產過(guo)程(cheng)更加穩定。現代的(de)卷對卷機器需(xu)要不同的(de)紙幅(fu)張力控制區(qu)(qu)域，以確保生(sheng)產過(guo)程(cheng)穩定可靠(kao)。力士樂多(duo)區(qu)(qu)域紙幅(fu)張力控制采(cai)用“解耦”技術，使機器具有多(duo)個(ge)張力區(qu)(qu)域。
卷筒緩沖區
來(lai)自(zi)卷筒部分的(de)短(duan)暫(zan)停止，在檢查車(che)間內(nei)的(de)連(lian)續卷筒傳(chuan)輸(shu)時(shi)出現(xian)(xian)，由于減少周(zhou)期(qi)時(shi)間而增強(qiang)生(sheng)產(chan)力。來(lai)自(zi)卷筒部分的(de)短(duan)暫(zan)停止，在檢查車(che)間內(nei)的(de)連(lian)續卷筒傳(chuan)輸(shu)時(shi)出現(xian)(xian)，由于減少周(zhou)期(qi)時(shi)間而增強(qiang)生(sheng)產(chan)力。
層壓過程
層(ceng)壓的過程 – 將多個具有(you)基材的類似薄膜的層(ceng)連接起(qi)來 – 需要(yao)較高(gao)的卷(juan)筒(tong)速度和(he)精確的紙幅張力。開(kai)放的系(xi)統架構允許輕松集(ji)成第三方組件。緊湊型控制柜可減少機器的安裝表面。
激光加工
博(bo)世力士(shi)樂(le) 高(gao)(gao)性能(neng)、基于控(kong)制器的(de)(de)(de)控(kong)制系(xi)統(tong)使連續卷(juan)筒傳輸過(guo)程中的(de)(de)(de)激光加(jia)工成為可(ke)能(neng)。機器上的(de)(de)(de)連續卷(juan)筒傳輸，通過(guo)更短的(de)(de)(de)周期時(shi)間和更低(di)的(de)(de)(de)成本實現更高(gao)(gao)的(de)(de)(de)生產(chan)力，不需要(yao)額外的(de)(de)(de)控(kong)制系(xi)統(tong)，無需使用控(kong)制柜。
涂層過程
對(dui)涂(tu)(tu)層過程而言，確保(bao)無(wu)(wu)微(wei)粒基板傳輸是絕(jue)對(dui)必要(yao)的，在涉及 OLED 照明應用(yong)時更是如(ru)此。在這方面，力士(shi)樂提供了用(yong)于(yu)線性(xing)運動(dong)(dong)的靈活運輸系統 FTS，可在高(gao)真空(kong)條件下使用(yong)。它(ta)不(bu)散發或釋放任何外(wai)來顆(ke)粒，從而提高(gao)涂(tu)(tu)層過程的質量。安(an)裝在腔室外(wai)的線圈為磁性(xing)載體提供動(dong)(dong)力。無(wu)(wu)需密封(feng)，而且因為所(suo)有的電子組件都安(an)裝在腔室外(wai)面，可用(yong)性(xing)得(de)以提高(gao)。
